Koti > Uutiset > EUV-kilpailu ulottuu oheispuolijohdelaitteisiin

EUV-kilpailu ulottuu oheispuolijohdelaitteisiin

Puolijohteiden uuden sukupolven "EUV (Extreme Ultraviolet Light)" -teknologian ympärillä kilpailu laiteyritysten välillä on kiristynyt. Tokyo Electronics investoi ennätyskorkeita kehityskustannuksia tilikaudella 2020 (maaliskuusta 2021 alkaen), ja Lasertecin tilauskanta on kaksinkertaistunut viime vuonna. EUV-laitteisiin liittyvillä markkinoilla hollantilainen ASML monopoloi ydin litografiakoneen, mutta myös tarkastusten ja valonlähteiden alalla japanilaisten yritysten läsnäolo paranee.

Maailman kolmanneksi suurimman puolijohdevalmistuslaitteiden valmistajan Tokyo Electronicsin presidentti Toshiki Kawai sanoi: "Jos EUV: tä suositaan, huippuluokan laitteiden kysyntä kasvaa." Tilikaudella 2020 se investoi ennätyskorkean 135 miljardin jenin tutkimus- ja kehitysmenoihin. .


Tokyo Electronicsin etuna on "Coater Developer". Tätä laitetta käytetään päällystämään erityinen kemiallinen neste piikiekkoon puolijohdemateriaalina sen kehittämiseksi. EUV: n massatuotantolaitteiden alalla yrityksen markkinaosuus on 100%. Tämän tilikauden konsolidoidun myynnin odotetaan nousevan 1,28 biljoonaan jeniin. Yli 10 prosenttia tästä käytetään tutkimukseen ja kehitykseen EUV: n popularisointivaiheen eturintaman lujittamiseksi.

Puolijohteiden valmistuslaitteiden markkinoilla, joiden määrä on yli 6 biljoonaa jeniä vuodessa, tapahtuu sukupolvenvaihdoksia.

Mitä hienompi puolijohteen piirilinjan leveys on, sitä parempi suorituskyky on, ja nykyinen huipputuote on 5 nanometriä. Jotta tällainen ohut piiri voidaan siirtää piikiekkoon, EUV-litografiakone on välttämätön. ASML: n, joka on ainoa massatuotettu EUV-menetelmä, tarjonnan kasvaessa, kehityskilpailu, mukaan lukien oheislaitteet, kuten pinnoitteet ja valonlähteet, on myös alkanut.

Sukupolvenvaihdon symboli on testilaitevalmistaja Lasertec. Jos valopöydässä on vikoja alkuperäisenä piirilevynä, puolijohteen vikaaste kasvaa vastaavasti. Yhtiö tuottaa EUV: tä tukevia testilaitteita, ja sen tilaukset heinäkuusta 2019 maaliskuuhun 2020 ovat lisääntyneet 2,2 kertaa viime vuoden vastaavasta ajankohdasta ja ovat 65,8 miljardia jeniä. Kahden kolmasosan vuosittaisista tilauksista odotetaan liittyvän EUV-palveluihin.

Lisäksi japanilaisten yritysten välillä käydään kiihkeitä vastakkainasetteluja. Elektronisuihkumaskin kirjoituskoneiden alalla Toshiban NuFlare-tekniikka on saavuttamassa JEOLin ja IMS NANOFABRICATIONin (Itävalta) välisen liittoutuman. Painopiste on "Multi-Beam" -tekniikan kehittämisessä käyttämällä 260 000 lasersätettä.

Tammikuussa Toshiba hylkäsi HOYAn, joka aloitti vihamielisen TOB: n (julkinen ostotarjous), ja vahvisti määräysvaltaansa Niu Fulaissa. 25 äskettäin lähetettyä kehittämisteknikkoa jne. Suunnittelee toimittavansa EUV: tä tukevia seuraavan sukupolven litografialaitteita vuoden 2020 aikana.

Gigaphoton (sijaitsee Oyama Cityssä, Tochigi Prefecture), Komatsun tytäryhtiö, joka tuottaa laserlähteitä, odottaa paluuta. Ennen EUV: n tulemista yrityksestä tuli yksi kahdesta parhaasta litografiakoneiden valonlähteiden alalla. Kuitenkin sellaisista syistä, kuten ASML: n hankkima kilpailija, se on tällä hetkellä menettämässä läsnäoloaan. Gigaphoton pyrkii kehittämään tehokkaita valonlähdekomponentteja ennen kuin ASML julkaisee EUV: n seuraavan sukupolven laitteita markkinaosuuksiensa palauttamiseksi.

Yritysten tausta nopeuttaa EUV-laitteiden kehitystä on Etelä-Korean Samsung Electronicsin ja TSMC: n käynnistämä miniatyrisointikilpailu. Korkean suorituskyvyn puolijohteiden, kuten 5G, kysyntä on vahvaa, ja nämä kaksi yritystä kilpailevat jokaisesta ASML-litografiakoneesta, jonka arvo on yli 20 miljardia jeniä. Tässä prosessissa myös ympäröivien tuotantolaiteyritysten liiketoimintamahdollisuudet laajenevat.

Kansainvälisen puolijohdelaite- ja materiaaliliiton (SEMI) ja Japanin puolijohdevalmistuslaitteiden yhdistyksen (SEAJ) tilastot osoittavat, että Japanissa valmistettujen puolijohdevalmistuslaitteiden markkinaosuus oli 31,3% vuonna 2019, joka on laskenut noin 30% aiemmin 20 vuotta.

Litografialaitteiden alalla Nikon ja Canon olivat aikaisemmin pyyhkäisseet maailmanmarkkinat, mutta epäonnistuivat kilpailussa ASML: n kanssa ja jäivät jälkikäteen EUV: n kehitykseen. Puolijohde-alalla, koska valmistusprosessista tulee vaikeaa, taipumus voittaja-ota kaikki kasvaa. Sukupolvenvaihdos, joka käyttää EUV: tä mahdollisuutena, kiihdyttää myös laiteyritysten vahvinta selviytymistä.

"Investointi huippuluokan laitteisiin mantereen markkinoilla on päättynyt", EUV: hen liittyvien varaosa- ja komponenttiyritysten päällikkö huokaisi. Koska Alankomaiden hallitus ei hyväksynyt sitä, ASML ei ole pystynyt viemään EUV-litografiakoneita mantereelle. Lisäksi keskeytetään myös oheislaitteiden ja osien hankinta.

Sen takana on kaupan kitka Kiinan ja Yhdysvaltojen välillä. Jos ASML-laitteita ei voida tuoda, mantereen puolijohdevalmistajat jäävät jäljelle miniatyrisointikilpailussa. Mannerhallitus esittää tavoitteen, jonka mukaan puolijohteiden omavaraisuusaste nousee 40 prosenttiin vuoteen 2020 mennessä ja 70 prosenttiin vuoteen 2025 mennessä, mutta tätä on vaikea saavuttaa. Monien näkemysten mukaan Yhdysvallat painosti Alankomaiden hallitusta käyttämään sitä sanktioiden aseena.

Kansainvälisen puolijohdelaite- ja materiaaliyhdistys ry: n tilastot osoittavat, että puolijohteiden valmistuslaitteiden markkinat olivat vuonna 2019 59,7 miljardia dollaria, mikä on 59% enemmän kuin vuonna 2014. Tänä aikana mantereen markkinat ovat lisänneet läsnäoloaan ja sen osuutta maailman kokonaismarkkinat ovat nousseet 11,6 prosentista vuonna 2014 22,5 prosenttiin. Japanilaisiin puolijohdevalmistuslaiteyrityksiin mantereesta on tullut markkinat, joita on vaikea sivuuttaa.

EUV-tekniikan kehittäminen on vaikeaa, ja kaikkien yritysten T & K-kustannukset kasvavat. Jos markkinat eivät enää laajene, yritysten sijoitetun pääoman tuotto viivästyy, ja uusien tekniikoiden kehittäminen voi olla vaikea edetä.